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Schichtdickenbestimmung durch Transmission im EUV Bereich

Mit Hilfe der EUV Transmissionspektroskopie kann die Schichtdicke sehr dünner Folien im Nanometer Bereich bestimmt werden. Diese beruht auf einer Laser induzierten Plasmastrahlung im EUV Bereich. Die charakteristische Plasmastrahlung wird durch das Projizieren eines Laserstrahls auf eine Molybdän-Rolle generiert, anschließend gefiltert und monochromatisiert. Diese emittierte Plasmastrahlung trifft auf die Folie und die von von der Dicke der Folie abhängigen Transmissionswerte werden mit Hilfe einer rauscharmen und hochempfindlichen CCD Kamera gemessen. Die Messung mit der Kamera GE 2048 512 BI UVI, durchgeführt am Max-Born-Institut Berlin, erreicht eine Standardabweichung unter 0.005 und ermöglicht damit eine Charakterisierung der Foliendicke im Nanometer-Bereich.